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詳細介紹
產品型號：
CH200-190-S
產品特點：
·電熱、液氮可實現快速升降溫
·可增加試樣溫度監(jiān)測溫度傳感器
·溫控精度高±0.1℃，可編程階梯控溫
·可以在較大的電子束流下獲得高質量圖像
·可適配SEM定制樣品架，安裝/拆卸過程簡單
·制冷完成測試后可快速（60℃/min）升溫達到RT，正常更換樣品，測試效率高。
產品參數：
型號 | CH200-190-S | |
溫控模塊 | 冷熱方式 | 液氮致冷，電阻加熱 |
溫控范圍 | -190～200℃ * | |
溫度穩(wěn)定性 | ±0.1 | |
溫度分辨率 | 0.1℃ | |
升降溫速率 | 0~50℃/min（可定點 / 程序段控溫） | |
溫控方式 | PID | |
溫度傳感器 | 熱電偶 | |
結構特性 | 樣品臺尺寸 | 23x23mm * |
樣品臺材質 | 銅質 * | |
外形尺寸 | 75x75x23mm * | |
整體重量 | 0.28KG | |
基本配置 | SEM原位冷熱臺x1、溫度控制器x1、致冷控制器x1（低溫配置）、液氮罐x1（低溫配置）、定制連接法蘭x1、溫控軟件x1、循環(huán)水系統(tǒng)x1、連接管路若干 | |
其他配置 | 電腦主機/安裝支架/定制控制軟件 | |
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